Оборудование для электроники

Оборудование для особо чистых газов (чистотой до 7.0 (99,99999%) имеет чистые соединения VCR, исключающие «мертвые» зоны. Вся поверхность, взаимодействующая с газом, проходит специальную подготовку (электрохимполировку) и имеет шероховатость не более 0,254 микрона на 0,25 микрометров R. Особенности данного оборудования: использование в электронной промышленности, чистых комнатах.

В технологии производства полупроводников используется большое количество токсичных газов (предельно допустимые концентрации газа в воздухе Диборан ( B2H6) - до 1ppm, Фосфин (PH3) до 0,05ppm), поэтому система должна отвечать высочайшим требованиям по безопасности.