Электронные газы - это газы используемые в электронной промышленности.

Диапазон используемых газов в электронной промышленности гораздо шире чем в любой другой отрасли. Газы используются на всех этапах в производстве полупроводников, начиная с выращивания монокристаллического кремния, и на стадиях изготовления пластин: окисления, химического осаждения, напыления, сопротивления, травление, термодифузии и ионной имплантации.

Подробнее об электронных газах...

BKGroup предлагает полный перечень электронных газов:

  • АММИАК (NH3)
  • ДИХЛОРСИЛАН (SiH2Cl2)
  • ГЕКСАФТОРБУТАН (C4F6)
  • СИЛАН (SiH4)
  • АРСИН (AsH3)
  • ДИФТОРМЕТАН (CH2F2)
  • ГЕКСАФТОРЭТАН (C2F6)
  • ТЕТРОФТОРИД КРЕМНИЯ (SiF4)
  • БОРТРИХЛОРИД (BCl3)
  • ДИСИЛАН (Si2H6)
  • МЕТИЛСИЛАН (SiH3CH3)
  • ТЕТРАФТОРМЕТАН (CF4)
  • БРОМВОДОРОД (HBr)
  • ОКСИД АЗОТА (N2O)
  • ОКТОФТОРЦИКЛОБУТАН (C4F8)
  • ТРИФТОРМЕТАН (CHF3)
  • ХЛОР (Cl)
  • ФТОРМЕТАН (CH3F)
  • ФОСФИН (PH3)
  • ТРИМЕТИЛСИЛАН (SiH(CH3)3)
  • ХЛОРИСТЫЙ ВОДОРОД (HCl)
  • ГЕРМАН (GeH4)
  • ГЕКСАФТОРИД СЕРЫ (SF6)
  • ДВУОКИСЬ УГЛЕРОДА